دور جهاز تنقية الهواء FFU في الأماكن النظيفة

جهاز تنقية الهواء FFU هو جهاز متنقل لتنقية الهواء. وهي تُستخدم لإزالة جزيئات الهواء الضارة من الهواء الدائر، مما يوفر هواءً نقيًا للغرف النظيفة أو المختبرات أو المرافق الطبية أو البيئات الدقيقة. يتم تركيب هذه الوحدات داخل شبكة السقف أو الأرضية للنظام. تتطلب غرف التنظيف الكبيرة عددًا كبيرًا من وحدات تنقية الهواء، والتي قد تتراوح من عدة مئات إلى عدة آلاف في بعض الحالات. يتضمن الجهاز عادةً مرشحًا مسبقًا خاصًا به ومرشح HEPA وتوزيع هواء بمروحة يمكن التحكم فيه داخليًا.

وعادةً ما تكون وحدة التصفية الحرارية مصنوعة من غلاف فولاذي ويمكن وضعها في أقواس شبكية في السقف ذات حجم مماثل. يشتمل الجهاز عادةً على مرشح مسبق بالإضافة إلى مرشحات HEPA (هواء الجسيمات عالي الكفاءة) أو ULPA (هواء الجسيمات المنخفضة للغاية) أو مرشحات أخرى ذات قيمة إبلاغ منخفضة الكفاءة (MERV). تُستخدم المراوح الكهربائية لاستخراج الهواء من خلال المرشحات لتوزيعه على الغرف أو محطات العمل المغلقة، مثل شفاطات الدخان. وعادةً ما يتم التحكم في سرعة المروحة بواسطة محرك متدرج أو محرك مقاوم متغير، ويحدد مستوى النظافة المطلوب المرشح المستخدم: تقوم مرشحات HEPA بإزالة الجسيمات التي تبلغ 0.3 ميكرومتر أو أكبر بكفاءة 99.99%، بينما تزيل مرشحات ULPA الجسيمات التي تبلغ 0.12 ميكرومتر أو أكبر بكفاءة 99.999%.

صُممت وحدة المعالجة الحرارية الحرارية لتدفق الهواء الصفحي، حيث يكون الهواء المتحكم فيه المتدفق في اتجاه وسرعة ثابتين (حاملاً للجسيمات) في البيئة أنظف من الهواء المضطرب المتدفق في اتجاهات متعددة أو بسرعات غير منتظمة. يمكن أن تتسبب الدوامات الناتجة عن الهواء المضطرب في ترسب جزيئات التلوث على الأسطح النظيفة.
صُمم جهاز تنقية الهواء لوحدة تنقية الهواء FFU ليتم وضعه في قوس شبكة سقف ذات حجم مماثل. يتم استخدام شبكة سقف ذات مقصورات ذات حجم قياسي يتطابق مع حجم وحدة تنقية الهواء FFU لبناء غرفة نظيفة. ووفقًا لمتطلبات النظافة في المساحة الخاضعة للتحكم، يمكن إضافة المزيد من وحدات ترشيح المروحة إلى الشبكة لتلبية معايير ISO لسرعة تدفق الهواء ومعدل تبادل الهواء في الساعة.

يمكن استخدام أجهزة تنقية الهواء لوحدات تنقية الهواء FFU لتحل محل وحدات تدوير الهواء التقليدية، مثل مجاري الهواء أو أنظمة الهواء المضغوط. ونظرًا للحاجة إلى مساحة فوق شبكة السقف لوحدات تنقية الهواء المضغوط (يبلغ حجم وحدات تنقية الهواء المضغوط 13 بوصة، بالإضافة إلى مساحة إضافية من قدم إلى قدمين من مساحة التضخم "الفارغة")، تُستخدم أنظمة التهوية المضغوطة عادةً في غرف التنظيف ذات قيود الارتفاع؛ وهي أنظمة هواء في التخطيطات ذات أحجام أرضية داخلية أصغر. بالإضافة إلى ذلك، عندما يكون عدد المرشحات المثبتة في الغرفة أقل من 20 مرشحًا، فإن أجهزة تنقية الهواء التي تعمل بالمروحة التي تعمل بوحدات التهوية الحرة تعتبر أرخص عمومًا من أنظمة الإمداد بالقنوات التقليدية.
عندما تكون هناك حاجة إلى هواء نظيف في بيئة متناهية الصغر، يمكن استخدام أجهزة تنقية الهواء FFU لإنشاء مساحات عمل مغلقة أو خزانات التدفق الصفحي. وبتطبيق نفس مبدأ شبكات غرف التنظيف الأكبر حجمًا، يمكن وضع وحدات تنقية الهواء FFU مباشرةً في شبكات مستقلة فوق المساحات التي تتطلب هواءً نظيفًا. تُستخدم هذه الطريقة بشكل شائع في حفر رقائق السيليكون في صناعة أشباه الموصلات.