什么是 洁净室?

洁净室通常用于制造或科学研究，是一种污染物（如灰尘、空气中的微生物、气溶胶颗粒和化学蒸汽）含量较低的受控环境。确切地说，洁净室的污染水平是受控的，具体由每立方米中特定粒径的颗粒数量决定。在一个典型的城市环境中，室外环境空气中每立方米含有 35,000,000 个直径为 0.5 微米或更大的颗粒，这相当于 ISO 9 级洁净室，是洁净室标准的最低级别。

洁净室概述

洁净室几乎应用于所有可能受到微小颗粒影响的行业。洁净室的大小和复杂程度各不相同，广泛应用于半导体制造、制药、生物技术、医疗器械和生命科学等行业，以及航空航天、光学、军事和能源部的关键工艺制造。

洁净室是任何特定的封闭空间，在这里可以减少微粒污染并控制其他环境参数，如温度、湿度和压力。其中的关键部件是高效微粒空气过滤器（HEPA），用于捕捉 0.3 微米及以上大小的微粒。输送到洁净室的所有空气都要经过 HEPA 过滤器，在某些需要严格洁净度的情况下，还要使用超低微粒空气 (ULPA) 过滤器。

被选中在洁净室工作的人员都要接受污染控制理论方面的广泛培训。他们通过气闸、空气淋浴和/或穿衣间进出洁净室，而且必须穿上专门设计的服装，以阻隔皮肤和人体自然产生的污染物。

根据房间的分类或功能，人员的着装可能仅限于白大褂和发套，也可能是全套多层兔形防护服和自给式呼吸器。

洁净室服装用于防止穿戴者身上的物质释放出来污染环境。洁净室服装本身不得释放微粒或纤维，以防止人员污染环境。在半导体和制药行业，这种人员污染会降低产品性能，在医疗保健行业，还会造成医务人员和病人之间的交叉感染。

洁净室服装包括靴子、鞋子、围裙、胡须套、束发帽、工作服、面罩、连衣裙/实验室外套、长袍、手套和手指套、发网、头罩、袖子和鞋套。洁净室服装的类型应反映洁净室和产品的规格。低级别洁净室可能只需要鞋底完全光滑、不会吸附灰尘或污垢的专用鞋。但是，鞋底不能有滑倒的危险，因为安全始终是第一位的。进入无尘室通常需要穿无尘室服。10,000 级无尘室可使用简单的罩衣、头套和鞋套。对于 10 级洁净室，则需要仔细穿戴带有拉链的防护服、靴子、手套和完整的呼吸器防护罩。

洁净室气流原理

洁净室采用层流或湍流气流原理，通过使用高效或超低排放过滤器来保持无微粒空气。层流或单向气流系统可将过滤后的空气以恒定的气流向下引导。层流气流系统通常横跨 100% 的天花板，以保持恒定的单向气流。层流标准一般在便携式工作站（低频罩）中规定，并在 ISO-1 至 ISO-4 级洁净室中强制执行。

正确的洁净室设计包括整个空气分配系统，包括提供充足的下游回风。在垂直流动的房间中，这意味着在区域周边使用低墙回风装置。在水平流动应用中，则需要在流程的下游边界使用回风装置。使用安装在天花板上的回风装置与正确的洁净室系统设计相矛盾。

洁净室分类

洁净室是根据空气的洁净程度来划分的。在美国联邦标准 209（A 至 D）中，每立方英尺空气中大于等于 0.5 微米的颗粒数量被测量出来，并以此对洁净室进行分类。最新的 209E 标准版本也采用了这种公制命名法。国内使用的是联邦标准 209E。较新的标准是国际标准化组织的 TC 209。这两个标准都根据实验室空气中的颗粒数量对洁净室进行分类。洁净室分级标准 FS 209E 和 ISO 14644-1 要求进行具体的颗粒计数测量和计算，以划分洁净室或洁净区域的洁净度等级。在英国，英国标准 5295 用于洁净室的分级。该标准即将被 BS EN ISO 14644-1 取代。

洁净室是根据每立方英尺空气中允许的颗粒数量和大小进行分类的。100 级 "或 "1000 级 "等大数字指的是 FED_STD-209E，表示每立方英尺空气中允许存在的 0.5 微米或更大颗粒的数量。该标准还允许内插法，因此可以描述例如 "2000 级"。

小数字指的是 ISO 14644-1 标准，该标准规定了每立方米空气中允许存在的 0.1 微米或更大颗粒数量的十进制对数。因此，举例来说，ISO 5 级洁净室每立方米最多可容纳 105 = 100,000 个颗粒。

FS 209E 和 ISO 14644-1 都假定颗粒大小和颗粒浓度之间存在对数关系。因此，不存在零颗粒浓度。普通室内空气约为 1,000,000 级或 ISO 9 级。

ISO 14644-1 无尘室标准

BS 5295 洁净室标准