クラス1000クリーンルームの建設

クラス1000の建設 クリーンルーム

クラス1000クリーンルームの清浄度基準は、通常、単位体積の空気中の許容粒子数で測定されます。国際規格ISO 14644-1によると、クラス1000のクリーンルームとは、空気1立方フィート（約0.028立方メートル）あたりの許容粒子数が1000個を超えないことを意味します。この規格を満たすためには、クリーンルームの設計、建設、運用において一連の厳しい措置を講じる必要がある。